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研究型硅片检测显微镜ZXGP-500系列

研究型硅片检测显微镜ZXGP-500系列

  • 所属分类:晶圆-硅片检测显微镜
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-04-19 10:09:41
  • 产品概述性能特点
  • 技术参数
  • 仪器图解
  • 成功案例

一、用途


ZXGP-500系列明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜,图像清晰、衬度好,同时配有偏光装置,及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器. 


硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中常用的检测仪器之一。



技术标准


标准配置

大视野 WF10X(视场数Φ22mm)

无限远长工作距离平场消色差物镜


PL L10X/0.25   工作距离:20.2 mm




PL L60X/0.70   工作距离:3.18 mm




目镜筒




调焦机构




转换器




载物台




落射照明系统




配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片



透射照明系统



集光镜中内置视场光栏



6V30W卤素灯、亮度可调

防霉系统

 

电脑型(ZXGP-500C)

数码型(ZXGP-500E)



可选配件



目镜




物镜




CCD接头




摄像仪




数码相机接头




分析软件

二维图像测量分析软件




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