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大平台硅片检测显微镜ZXGP-800系列

大平台硅片检测显微镜ZXGP-800系列

  • 所属分类:晶圆-硅片检测显微镜
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-05-06 14:23:11
  • 产品概述性能特点
  • 技术参数
  • 仪器图解
  • 成功案例

一、仪器的用途:

    ZXGP-800研究级大平台硅片显微镜主要用于半导体硅片的观察。它能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰和宽阔,又具有长工作距离,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数,配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务.是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜,在半导体行业有广泛应用。

  大平台硅片检测显微镜可以观察到太阳能电池硅片肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格, 是太阳能电池硅片生产企业进行质量控制普通的仪器。

二、系统简介

    大平台硅片显微镜系统是将传统的光学仪器与计算机(数码相机)通过光电转换器有机地结合在一起,能在计算机(数码相机)显示屏幕上观察实时动态图像,并能将所需要的图片进行编辑、保存和打印。

三、技术参数、

   1.目镜

类 型

放大倍数

视场(mm)

大视野目镜

10X

Φ22

   2.物镜

类 型

放大倍数

数值孔径(NA)

工作距离(mm)

无限远平场消色差物镜(明/暗场物镜)

4X

0.1

17.80

10X

0.25

10.00

20X

0.40

5.10

40X  

0.60

2.90

   3.光学放大倍数:40X-400X(选配镜头可到1000X)  

   4.三目头: 30˚倾斜, 可全通光摄影

   5.转换器:四孔内向式滚珠内定位

   6.载物台:三层机械移动式尺寸: 300mm×268mm移动范围250mm×200mm

   7.调焦机构:粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm

   8.落射照明系统: 6V 20W 卤素灯, 亮度与灯炮位置可调,

                     内置视场光栏、孔径光栏、推拉式检偏器与起偏器,

   9.滤色片:黄、蓝、绿、磨砂玻璃滤色片转换装置

  10.特有防霉系统

四、系统组成

     ZXGP-800型:1.硅片显微镜  2.适配镜  3.摄像器(CCD) 4.图像采集卡  5.软件

五、选购件

   1.目镜: 10X(分划)                      2.物镜: 50X   60X   100X(干)

   3.成像系统                               4.专业软件

   5.配套电脑


   1.目镜

类 型

放大倍数

视场(mm)

大视野目镜

10X

Φ22

   2.物镜

类 型

放大倍数

数值孔径(NA)

工作距离(mm)

无限远平场消色差物镜(明/暗场物镜)

5X

0.12

8.05

10X

0.25

7.86

20X

0.40

7.23

50X

0.70

1.75

80X

0.80

0.80

   3.光学放大倍数:50X-800X      

   4.三目头: 30˚倾斜, 可100%通光摄影

   5.转换器:五孔内向式滚珠内定位

   6.载物台:三层机械移动式尺寸: 280mmX270mm,移动范围: 204mmX204mm  

   7.调焦机构:粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:0.7μm

   8.落射照明系统: 15V 50W 卤素灯, 亮度与灯炮位置可调,

                     内置视场光栏、孔径光栏、推拉式检偏器与起偏器,

   9.滤色片:黄、蓝、绿、磨砂玻璃滤色片转换装置

  10.特有防霉系统

四、系统组成

     ZXGP-800型:1.硅片显微镜  2.适配镜  3.摄像器(CCD) 4.图像采集卡  5.软件

五、选购件

   1.目镜: 10X(分划)                      

   2.物镜:  40X   60X   100X(干)


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